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真空感应碘化炉

发布时间:2018/11/14
真空感应碘化炉

碘化炉简介 

设备主要技术参数: 

         设备总功率                     140KW;

         沉积室温区                    Φ300mm*Η600mm;

         沉积室加热温度                 1600℃;

         沉积室加热功率                 100KW;

         反应室均温区                   Φ200mm*Η900mm;

         反应室加热温度                 500℃;

         反应室加热功率                 15KW;

         碘储存室                       Φ200mm*Η500mm;

         碘储存室加热温度                 120℃;

         碘储存室加热功率                 5.5KW;

         碘收集冷凝需配置独立制冷机功率   0.75KW;

         两端端盖油冷循环温度             250 ℃;

         炉室空炉极限真空度                0.06Pa;

 


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